X射線熒光光譜儀具有重現(xiàn)性好,測(cè)量速度快,靈敏度高的特點(diǎn)。樣品可以是固體、粉末、熔融片,液體等,分析對(duì)象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。
X射線熒光光譜儀主要由以下幾部分組成:
(1)X射線系統(tǒng)(X射線光管、高壓變壓器、管壓管流控制單元);
(2)水循環(huán)冷卻系統(tǒng)(內(nèi)外部冷卻水單元、溫度、電導(dǎo)率控制監(jiān)測(cè)單元);
(3)真空系統(tǒng)(真空泵、樣品室);
(4)檢測(cè)系統(tǒng)(光譜室、分光晶體、衰減器、狹縫、測(cè)角儀、晶體交換器等);
(5)檢測(cè)記錄系統(tǒng)(流<充>氣正比計(jì)數(shù)器和閃爍計(jì)數(shù)器、脈沖高度分析器等);
(6)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。
X射線熒光光譜儀基本原理:
X熒光光譜儀(XRF)由激發(fā)源(X射線管)和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線(一次X射線),激發(fā)被測(cè)樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線,并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長(zhǎng)特性。探測(cè)系統(tǒng)測(cè)量這些放射出來(lái)的二次X射線的能量及數(shù)量。然后,儀器軟件將探測(cè)系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
用X射線照射試樣時(shí),試樣可以被激發(fā)出各種波長(zhǎng)的熒光X射線,需要把混合的X射線按波長(zhǎng)(或能量)分開,分別測(cè)量不同波長(zhǎng)(或能量)的X射線的強(qiáng)度,以進(jìn)行定性和定量分析,為此使用的儀器叫X射線熒光光譜儀。